化学气相沉积法制备大尺寸单晶石墨烯的工艺参数研究

编号：NMJS05376

篇名：化学气相沉积法制备大尺寸单晶石墨烯的工艺参数研究

作者：韩林芷； 赵占霞； 马忠权；

关键词：石墨烯； 化学气相沉积法； 工艺参数； 大尺寸；

机构： 上海大学物理系索朗联合实验室；

摘要： 石墨烯作为一种二维sp2杂化碳的同素异形体,具有优良的电学、光学、热学及力学等性质.产业化应用石墨烯要求其具有大的尺寸且性质均一.化学气相沉积法(CVD)的出现为制备大尺寸、高质量的石墨烯提供了可能.本文结合近几年CVD法制备石墨烯的研究进展,综述了影响大尺寸、单晶石墨烯制备的工艺参数,包括衬底选择与预处理、碳源与辅助气体流量调控、腔体温度和压力控制、沉积时间以及降温速率设定等.最后展望了制备大尺寸单晶石墨烯的研究方向.