基于石墨烯复合薄膜的平面微电感

编号：CPJS06455

篇名：基于石墨烯复合薄膜的平面微电感

作者：闫丽丽 郭磊 支绍韬 冯竹 雷冲 周勇

关键词： 微电子机械系统(MEMS) 石墨烯薄膜 微电感 真空干燥 平面线圈 石墨烯/铜复合导线

机构： 上海交通大学电子信息与电气工程学院 上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室

摘要： 石墨烯由于其独特的组成结构,具有极其优异的电学性能,基于石墨烯薄膜的电子器件越来越受到研究者的关注。通过将石墨烯与微型导电线圈结合,探究石墨烯对线圈微电感性能的影响。滴涂石墨烯并通过三组对比实验确定石墨烯薄膜的干燥方式(-5℃冷干干燥、室温真空干燥和室温自然干燥)。结果显示,室温真空干燥形成的石墨烯薄膜更为连续均匀、薄膜厚度小且电阻率更低。进一步实验得到,45℃为室温真空干燥方式的较佳干燥温度。采用微电子机械系统(MEMS)工艺制备三种不同材料的微型导电线圈(铜导线、石墨烯/铜复合导线、石墨烯导线)。对三种线圈的电学参数进行测试,发现石墨烯/铜复合导电线圈的电感性能有较大提高。