基片表面应力对类石墨复合膜性能的影响

编号：FTJS07251

篇名：基片表面应力对类石墨复合膜性能的影响

作者：宇文江涛 王佐平 张亚娟 王育召 丁超 龙晓云 符昊

关键词： 非平衡闭合磁控溅射 类石墨复合膜 基片 压应力 摩擦学性能

机构： 中国船舶重工集团西安船舶工业有限公司 中国船舶重工集团公司第十二研究所

摘要： 试样基片经常规渗碳、淬火及不同的表面处理后,应用非平衡闭合磁控溅射技术在其表面镀制类石墨复合膜,分析不同基片应力状态下复合膜的组织和性能,研究基片表面不同应力状态对类石墨复合膜性能的影响。结果表明:表面应力状态对类石墨复合膜的形貌、成分、成膜速度及综合性能有一定的影响,适当的压应力可以有效改善类石墨复合膜的摩擦学性能。