石墨烯基SnO_x-Sn气体传感器灵敏度影响因素研究

编号：SBJS00697

篇名：石墨烯基SnO_x-Sn气体传感器灵敏度影响因素研究

作者：袁雨桐 杨洋飞飞 赵艺远 黄文杰 谢海芬

关键词： 石墨烯基 氧化锡 热蒸发 甲醛 二氧化氮

机构： 华东理工大学理学院物理系

摘要： 为提高本征石墨烯的气敏特性,将锡和氧化锡薄膜蒸镀在气相沉积法制备的石墨烯表面,制成石墨烯基SnOx-Sn气体传感器,通过原子力显微镜(AFM)、场发射扫描电镜(FESEM)对其表面结构进行表征。并测试了其在室温下对低体积分数甲醛和二氧化氮(NO2)气体的响应特性。研究并分析了膜蒸发速率、基底加热时间、氧气流量对传感器响应灵敏度的影响。