热丝化学气相沉积(HFCVD)在铜箔上制备双层石墨烯薄膜的研究

编号：NMJS07306

篇名：热丝化学气相沉积(HFCVD)在铜箔上制备双层石墨烯薄膜的研究

作者：崔丹杰 黄哲伟 吉喆 陈茜 沈彬

关键词： 石墨烯涂层 双层 热丝化学气相沉积

机构： 上海交通大学机械与动力工程学院

摘要： 双层石墨烯独特的物理性能和特性使其在电子领域拥有广阔的应用前景,引起了学者的广泛关注。采用热丝化学气相沉积方法(HFCVD)在1cm×2cm的铜箔上制备石墨烯薄膜,并通过探究腔内气压、基体温度、沉积时间、碳源浓度对石墨烯层数和质量的影响,开发出制备低缺陷双层石墨烯的工艺。采用拉曼光谱仪、扫描电子显微镜和原子力显微镜对石墨烯涂层的结构特征、表面形貌和层数进行了表征。实验结果表明,在铜箔上制备出了均匀致密的低缺陷双层石墨烯,厚度为1.5nm。此外研究结果还表明,降低腔内气压可减少缺陷和层数,增加基体温度可减少层数,沉积时间<4min或碳源浓度高于1%则无石墨烯生成。因此通过控制腔内气压、基体温度、沉积时间和碳源浓度可实现石墨烯可控生长。