基于黑磷烯/氧化石墨烯双介质层的柔性电容式压力传感器

编号：SBJS00708

篇名：基于黑磷烯/氧化石墨烯双介质层的柔性电容式压力传感器

作者：聂萌 郭安琪 陈佳琦 徐峰

关键词： 柔性 电容式压力传感器 黑磷烯 氧化石墨烯 灵敏度

机构： 东南大学MEMS教育部重点实验室

摘要： 设计并制备了由黑磷烯/氧化石墨烯双层材料为介质层的电容式柔性压力传感器,该传感器结构以ITO为电容上下极板,PET为柔性基底,并对该传感器进行了系统的性能测试与分析。着重研究了该传感器在不同压力量程内的灵敏度,进而分析了其温度漂移特性。测试结果表明,以黑磷烯/氧化石墨烯薄膜为双介质层的电容式柔性压力传感器在0~3.12 kPa压力量程内灵敏度可达到1.60 kPa -1 。同时,对该传感器和以氧化石墨烯薄膜为单介质层的传感器进行了弯曲应变性能的对照实验,可知具有双介质层的传感器结构能够显著提高传感器的输出特性。