偏压占空比对类石墨碳薄膜摩擦学性能的影响

编号：FTJS04227

篇名：偏压占空比对类石墨碳薄膜摩擦学性能的影响

作者：王永欣； 赵文杰； 李金龙； 王立平； 陈建敏

关键词：GLC薄膜； 偏压占空比； 摩擦学性能

机构： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所表面工程事业部

摘要： 利用磁控溅射技术在不同偏压占空比条件下制备类石墨碳(Graphite-like carbon,GLC)薄膜,采用扫描电子显微镜、Raman光谱、X射线光电子能谱、纳米压痕仪等分析薄膜的结构和机械性能,采用球-盘往复摩擦方式考察薄膜在大气及去离子水中的摩擦学性能。结果表明:大气环境中,GLC薄膜的摩擦因数和磨损率随偏压占空比的升高而逐渐降低;水环境中,GLC薄膜的摩擦因数随偏压占空比的逐渐升高先降低后轻微升高,低占空比条件下GLC薄膜在水环境中摩擦接触面出现局部剥落,而高占空比条件下GLC薄膜可表现出低于干摩擦的稳定磨损;当占空比为50%~65%时,GLC薄膜在水环境中的摩擦学性能最佳。