中国粉体网讯  近日，由第三代产业技术创新战略联盟成员单位赛迈科先进材料股份有限公司牵头，联合北京北方华创微电子装备有限公司、湖南三安半导体有限公司、山东大学、中国科学院半导体研究所联合提出的《碳化硅单晶生长用等静压石墨》团体标准提案，经CASAS管理委员会投票获得通过，2024年3月4日正式立项，并分配标准编号：T/CASAS 048。

T/CASAS 048—20XX《碳化硅单晶生长用等静压石墨》描述了碳化硅单晶生长用等静压石墨的术语和定义、材料规格说明、基本要求、技术要求、检验规则、标识、包装、运输和贮存。适用于纯度达到5N5（99.9995wt%）以上的碳化硅单晶生长用等静压石墨。

在碳化硅半导体领域，等静压石墨是PVT法生长单晶的重要耗材，占据生产物料成本的约30%，用以制造单晶生长用的热场部件（包括坩埚及内部构件、电阻加热器等）；同时，等静压石墨的使用表现，也极大的影响晶体质量，质量良好的等静压石墨热场能提升晶体生长良率。由于工况中有极高的运行温度、复杂的腐蚀情况、严苛的洁净度要求，因此，用户对该领域用的等静压石墨具有更加高的使用要求和质量标准，这体现在纯度、强度、抗腐蚀性、均匀性等多个方面。当前，我国石墨产业发展蓬勃，但存在“高端产能不足、中低端产能过剩”的问题。希望以此标准的制定，衔接产业链上中下游，共同探讨产品需求的更多共识，促进我国石墨产业的转型升级、提质增效、创新发展。

秘书处将向CASAS正式成员发出征集起草单位的通知，组建标准起草小组，请CASAS正式成员关注秘书处邮件（casas@casa-china.cn）。

牵头单位介绍

赛迈科先进材料股份有限公司成立于2007年，是中国领先的大规模、高品质特种石墨材料研发生产的高科技企业，公司现有两大生产基地，分别位于浙江湖州和宁夏银川，总占地面积约1000亩。公司具备绿色环保的先进生产工艺，其石墨材料和碳材料产品广泛应用于清洁能源、可再生能源、半导体、工业炉、精密模具等行业领域，公司提供基千石墨和碳材料的增值服务和产品，包括精密加工、材料纯化、表面处理、检验检测等。

公司始终把自主科研创新能力作为企业核心竞争力，是国家级高新技术企业、国家专精特新“小巨人”企业，公司的实验室已取得国家认可委(CNAS)认证，具备对公众和社会服务能力，同时也是中国石墨行业唯一加入美国材料与试验协会(ASTM)，成为组织成员单位的企业；至2023年为止，公司已参与编制国家标准、行业标准、ASTM标准等共计19项；公司已与中国工程院、中国科学院著名院士共同建立院士专家工作站，并建立了国家级博士后工作站、省级重点企业研究院等创新平台；公司与全球范围领先的研究机构和高校开展合作，包括中科院、清华大学、牛津大学等，为全球各行业用户提供更有创新性的产品和服务。

（中国粉体网编辑整理/空青）

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