编号：FTJS107732
篇名： 物化提纯法提纯SiC用高纯石墨制品技术研究
作者： 张乐乐1；范国峰1；张皓1；门振龙1,2
关键词： 物化提纯法; SiC; 高纯石墨; 热稳定性; 化学稳定性; 结构设计;
机构：1.江苏兑尚半导体科技有限公司2.北京梦之墨科技有限公司
摘要： 聚焦物化提纯法在制备SiC晶体过程中所需关键承载材料高纯石墨制品的技术研究。系统探讨了高纯石墨在极端高温与化学腐蚀环境下的性能要求、制备工艺优化、结构设计与缺陷控制策略。研究表明，具备超高纯度、优异热稳定性及可控微结构的高纯石墨制品是实现SiC高效物化提纯的基础保障。通过材料选择、工艺革新与结构设计的协同优化，可显著提升SiC单晶的质量与生产效率，对推进宽禁带半导体产业发展具有重要意义。